什么是勻膠機？勻膠機的滴膠系統，可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉滴膠。隨著晶片尺寸的增大，出現了多點滴膠或膠口移動式滴膠。

勻膠機使用什么電機呢？這里使用高速無刷電機3萬轉，勻膠的轉速快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。 使用高速無刷電機具有結構簡單，性能穩(wěn)定的特點，替代有刷電機的碳刷磨損，壽命低，也替代交流電機的轉速偏低，體積偏大。

為什么勻膠機需要中空軸呢？勻膠機主軸轉速的穩(wěn)定性和重復性是決定膠膜厚度均勻性和一致性的關鍵，起動加速度的大小是決定是否能將不同粘稠度的光刻膠甩開并使膠均勻的決定因素。